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發(fā)布者：磊建凈化
發(fā)布時(shí)間：2022-10-20
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在半導(dǎo)體領(lǐng)域，為了保證硅片及芯片等元件的清潔度，達(dá)到國際化的無塵標(biāo)準(zhǔn)，需要完整且品質(zhì)良好的無塵車間潔凈室，而從潔凈室的等級到使用范圍再到具體的客戶要求，生產(chǎn)加工的每個(gè)潔凈室都有差異。如墻壁、天花板、風(fēng)淋室、通風(fēng)、照明設(shè)備以及裝飾材料等潔凈室的結(jié)構(gòu)要素都需要詳細(xì)的規(guī)劃。下面磊建凈化淺談一下半導(dǎo)體無塵車間潔凈度標(biāo)準(zhǔn)和半導(dǎo)體無塵車間潔凈室施工要求。
一、半導(dǎo)體無塵車間潔凈度標(biāo)準(zhǔn)
潔凈度等級要求高,風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)按需受控,照度、潔凈室截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范受控，另外該類潔凈室對靜電要求極其嚴(yán)格。其中對濕度的要求尤甚。因?yàn)檫^于干燥的廠房內(nèi)極易產(chǎn)生靜電，造成CMOS集成損壞。一般來說，電子廠房的溫度應(yīng)控制在22℃左右，相對濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有相關(guān)溫濕度規(guī)定)。這時(shí)可有效地消除靜電，并使人也感覺舒適。
集成電路芯片工作環(huán)境中指定的氣體清潔度水平取決于集成電路芯片的處理速度。不同的技術(shù)氣體清潔水平取決于環(huán)境污染的機(jī)會和組件的潛在常見斷層。
例如，無塵車間在集成電路芯片制造的光學(xué)技術(shù)鏈路中，單晶硅晶片暴露于自然的生產(chǎn)中。當(dāng)環(huán)境污染的可能性很高時(shí)，零件的廢物速率將相對較高。類損壞，目前在超大綜合電路芯片的工業(yè)工廠中選擇微環(huán)境，以清理，保護(hù)生產(chǎn)過程中心城市，并在微環(huán)境危害中達(dá)到氣體清潔度和環(huán)境控制要求。在國家標(biāo)準(zhǔn)ISO14644-4中，B(參考)引入了“微電子技術(shù)純化室示例”。
無塵車間桌子上辦公區(qū)域的公共生產(chǎn)和加工的核心區(qū)域是一個(gè)人和/或自我溶解設(shè)備生產(chǎn)芯片的區(qū)域。為了確保工作的區(qū)域區(qū)域沒有環(huán)境污染，通常會選擇一個(gè)道路流或微環(huán)境來保護(hù)人和暴露的商品。公共設(shè)施區(qū)域是插座的一部分，沒有設(shè)置芯片生產(chǎn)線的操作員。該區(qū)域的運(yùn)作通常不暴露于自然的生產(chǎn)。辦公區(qū)通常靠近公共設(shè)施。高速服務(wù)區(qū)域是沒有產(chǎn)品和生產(chǎn)線設(shè)備的區(qū)域，通常靠近工作區(qū)和公共設(shè)施區(qū)域。
?、僭趯?shí)施最佳的設(shè)計(jì)條件之前，應(yīng)詳細(xì)說明ISO擁有的水平。
②表面層中的旋風(fēng)類型表示純化室的氣體特性：u=一個(gè)-路流;n，非一條路流;M=混合流形式(U和N的混合物)。
?、燮骄L(fēng)速率通常適用于房間中的單向流。單側(cè)旋風(fēng)速度需要在測量區(qū)域的形狀下加熱的溫度。單側(cè)流速不指濁度的正風(fēng)。
?、芊沁吘壛髁亢突旌狭髁吭谝恍r(shí)內(nèi)使用自然通風(fēng)的頻率。使用適用于建筑物高度3.M的無塵房間的系數(shù)排放空氣量建議值。
?、葑⒁鈬?yán)格的密封對策。
?、尬蛐L(fēng)天然屏障適用于合理的污染物分離和治療自然保護(hù)區(qū)。
實(shí)際上，在此階段，全球所有國家的綜合電路制造企業(yè)。生產(chǎn)者根據(jù)產(chǎn)品類型進(jìn)行處理。選擇了生產(chǎn)過程的技術(shù)。生產(chǎn)線設(shè)備。原材料采購和制造無塵車間的社會經(jīng)驗(yàn)和經(jīng)濟(jì)發(fā)展證實(shí)，綜合電路清潔廠(房屋)的過程(房屋)需要空氣清潔。等級。根據(jù)統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)，集成電路制造企業(yè)。制造商在計(jì)劃和建造集成電路芯片車間凈化項(xiàng)目時(shí)選擇空氣清潔水平。凈化室的木板和空間規(guī)劃?？諝鈨艋O(shè)備。凈化室建筑物和其他技術(shù)規(guī)格。獨(dú)特的工程措施。每個(gè)都有。不同的。
二、半導(dǎo)體無塵車間潔凈室施工要求
半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)無塵車間潔凈室、集成電路無塵車間潔凈室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)潔凈室的重要組成部分，由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣環(huán)境和品質(zhì)的要求極為嚴(yán)格，主要以控制微粒和浮塵為主要對象，同時(shí)還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴(yán)格的規(guī)定。
1、電子制造廠萬級潔凈室內(nèi)的噪聲級(空態(tài)):不應(yīng)大于65dB(A)。
2、電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%，水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%，否則就是局部單向流了。
3、電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa。
4、電子制造行業(yè)萬級潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的最大值。
5、補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。
6、保證供給無塵車間潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。
7、電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器，應(yīng)設(shè)置新風(fēng)，超溫?cái)嚯姳Ｗo(hù)，若采用點(diǎn)加濕時(shí)應(yīng)設(shè)置無水保護(hù)，寒冷地區(qū)，新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。
