高純氣體的供氣安全

1）易燃易爆氣體：此類氣體只要形成了可燃氣體爆炸混合氣和達到著火溫度。便會發(fā)生燃燒爆炸事故因此在可燃氣體入口處、氣體鋼瓶存放間、潔凈室內使用可燃氣體處、敷設可燃氣體的管廊或技術夾層以及可能聚集可燃氣體的場所均應設置可燃氣體報警裝置。具體要求如下：

①可燃氣體比空氣輕者，報警裝置設置在所處場所的頂部。

②可燃氣體比空氣重者，報警裝置設置在所處場所的最低處。

③可燃氣體的報警裝置應與相應的事故排風裝置設電氣連鎖，當空氣中的可燃氣體濃度達到規(guī)定值時，事故排風裝置自動開啟，同時向潔凈廠房的消防安全值班室發(fā)出報警信號。

④為防止倒流回火應在用氣設備的支管上設置阻火器，在排入大氣的排氣管道上，為防止排氣時突遇雷電襲擊阻止火焰蔓延至可燃氣體管道引發(fā)燃燒爆炸事故，必須在排氣管道上設置阻火器。

⑤可燃氣體在適當的管道處應做接地，但接地電阻應符合相關規(guī)定。

⑥各種可燃氣體管道系統(tǒng)均應設置能引入氮氣等惰性氣體的接口及相應的檢測口，以便在可燃氣體供應系統(tǒng)使用前后或檢修動火前后對其系統(tǒng)進行吹掃置換，但是惰性氣體吹掃接口在正常運行中不能與氣體鋼瓶或惰性氣體管道相通，以避免影響氣體質量。

高純氣體管路的設計要點：

（1）對于不同特性的氣體，要規(guī)劃獨立的供應區(qū)域，一般分為三個區(qū)：腐蝕性/毒性氣體區(qū)、可燃性氣體區(qū)、惰性氣體區(qū)，將相同性質的氣體集中加強管理，可燃性氣體區(qū)要特別規(guī)劃防爆墻與泄漏口，若空間不足，可考慮將惰性氣體放置與毒性/腐蝕性氣體區(qū)。

（2）管路設計需要考慮輸送的距離，距離越長，成本越高，風險也越高，通常較合理的設計流速為20ml/S，可燃性氣體小于10ml/S,毒性/腐蝕性氣體小于8ml/S，在用量設計方面，則需要考慮使用點的壓力和管徑大小，前者與氣體特性有關，后者使用點的管徑一般為1/4”～3/8”。