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ISO Class5 & 百級
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發(fā)布者:磊建凈化
發(fā)布時間:2022-01-24
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半導體潔凈室工程案例簡介:
潔凈等級:百級、千級
承接單位:上海磊建凈化
案例定位:上海***微電子科技有限公司
一般在百級-萬級的半導體潔凈室平面裝修方案中,磊建凈化設計師都會依據(jù)人流和物流凈化流向來精確規(guī)劃布局平面。
工作人員的凈化路線為:
入口→換鞋→更換外出服→洗浴→清潔走廊→二次洗浴→換潔凈服→風淋室→潔凈生產(chǎn)區(qū)。
物品的凈化路線為:
入口→原料庫→粗潔凈→傳遞窗→精潔凈→傳遞窗→潔凈生產(chǎn)區(qū)→傳遞窗→包裝→成品庫。
依據(jù)以上流向設計各潔凈區(qū)和輔助區(qū)的布局,再結(jié)合各個不同工序的潔凈室要求的空氣潔凈度,盡可能將污染的概率和對器件的潛在故障不良因素壓到最低。
潔凈室裝修實拍
半導體百級潔凈室裝修工段區(qū)域需要做到密封的狀態(tài),潔凈室需維持一定的正壓,保證潔凈室不受污染或少受污染,以維持其潔凈度。磊建凈化設計師一般會經(jīng)過大量的冷熱負荷計算、風量平衡計算等,合理的工程設計、優(yōu)化,工程安裝、調(diào)試,來確保整個百級潔凈室凈化系統(tǒng)的正常運行。各工段根據(jù)潔凈室特性、凈化系統(tǒng)特性等選擇合適的送風方式,不同的送風方式各有利弊,實際操作中設計師會根據(jù)實際需求進行氣流組織設計。
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